- Sputterätzen
- n <el.ic.prod> (trockenes physikalisches Ätzverfahren) ■ ion etching; sputter etching; ion milling
German-english technical dictionary. 2013.
German-english technical dictionary. 2013.
Fotomaske — Fotomasken (englisch reticle) sind Projektionsvorlagen, deren Hauptanwendung die fotolithografische Strukturierung bei der Herstellung von mikroelektronischen Schaltungen oder Mikrosystemen ist. Sie bestehen üblicherweise aus hochreinem… … Deutsch Wikipedia